o2 plasma原理

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... O2=5,000. 16. 多晶矽閘極. 720. 275. 60. SiH4= 40. 1,000. 表4-3 電漿氮化集束型設備前後相關製程的厚度穩定性.生醫用氧化鋯進行電漿表面改質作為提供細胞相容性之應用因此本研究主要以電漿處理技術，於O2、H2O 氣氛下，利用電漿活化氧化鋯基材表面，提高 ... Therefore, the aim of this study will focus on plasma-activated zirconia by O2 and H2O ... 2-2-1 電漿之原理. ... Hollahan, J.R. and G.L. Carlson, Hydroxylation of polymethylsiloxane surfaces by ... 聯絡E-mail：etds@email. ncku.edu.tw.電漿清洗機 - 虎科研發處 - 國立虎尾科技大學2019年4月23日 · 電漿清洗機簡稱中文名稱電漿清洗機英文名稱O2 Plasma Cleaner 功能說明利用電漿原理來清潔試片表面之油脂及殘膠儀器服務項目1.清潔試片 ...